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Schlagwort = Intelligenter Sensor und Sammlung = ULB Düsseldorf
Dreidimensionale Mikrostrukturierung von GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen
Miao, Jianmin
Als Ms. gedr., Düsseldorf : VDI-Verl., 1996
Entwicklung eines Prozesses zur monolithischen Integration piezoresistiver Beschleunigungssensoren in einem kommerziellen 2-mym-CMOS-Prozeß
Riethmüller, Werner
Als Ms. gedr., Düsseldorf : VDI-Verl., 1995
Parallel strukturierte Glasfasersensoren für die industrielle Sichtprüfung
Qiu, Qiang
Als Ms. gedr., Düsseldorf : VDI-Verl., 1995