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Titelaufnahme

    Titel
    Entwicklung eines Prozesses zur monolithischen Integration piezoresistiver Beschleunigungssensoren in einem kommerziellen 2-mym-CMOS-Prozeß / Werner Riethmüller
    VerfasserRiethmüller, Werner
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1995
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangIX, 111 S. : Ill., graph. Darst.
    HochschulschriftZugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss.
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 203
    SchlagwörterCMOS / Integration <Mikroelektronik> / Siliciumsensor / Beschleunigungssensor / Intelligenter Sensor
    ISBN3-18-320309-X
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