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Titelaufnahme

    Titel
    Dreidimensionale Mikrostrukturierung von GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen / Jianmin Miao
    VerfasserMiao, Jianmin
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1996
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangVI, 129 S. : Ill., graph. Darst.
    HochschulschriftZugl.: Darmstadt, Techn. Hochsch., Diss.
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 232
    SchlagwörterGalliumarsenid / Ionenimplantation / Mikrostruktur / Intelligenter Sensor
    ISBN3-18-323209-X
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