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Schlagwort = Halbleitertechnologie und Sammlung = ULB Düsseldorf
Dünnfilm-Metallelektroden als elektrochemische Verstärker und dielektische Transducer
Paeschke, Manfred
Als Ms gedr., Düsseldorf : VDI-Verl., 1998
Prozeßinduzierte mechanische Spannungen in TiSi 2 -Schichten während der Temperung in einem RTP-System
Taddiken, Hans
Als Ms. gedr., Düsseldorf : VDI-Verl., 1994
Tandem-Photolithographie-Verfahren
Sachse, Hermann
Als Ms. gedr., Düsseldorf : VDI-Verl., 1995