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Titelaufnahme

Titel
Prozeßinduzierte mechanische Spannungen in TiSi 2 -Schichten während der Temperung in einem RTP-System / Hans Taddiken
VerfasserTaddiken, Hans In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen In Wikipedia suchen nach Hans Taddiken
ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1994
Ausgabe
Als Ms. gedr.
UmfangIX, 107 S. : Ill., graph. Darst.
SerieFortschritt-Berichte VDI : Reihe 3, Verfahrenstechnik ; 353
SchlagwörterHalbleitertechnologie In Wikipedia suchen nach Halbleitertechnologie / Titansilicide In Wikipedia suchen nach Titansilicide / Dünne Schicht In Wikipedia suchen nach Dünne Schicht / Tempern In Wikipedia suchen nach Tempern / Mechanische Spannung In Wikipedia suchen nach Mechanische Spannung
ISBN3-18-335303-2
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