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Titelaufnahme

    Titel
    Prozeßinduzierte mechanische Spannungen in TiSi 2 -Schichten während der Temperung in einem RTP-System / Hans Taddiken
    VerfasserTaddiken, Hans
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1994
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangIX, 107 S. : Ill., graph. Darst.
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 3, Verfahrenstechnik ; 353
    SchlagwörterHalbleitertechnologie / Titansilicide / Dünne Schicht / Tempern / Mechanische Spannung
    ISBN3-18-335303-2
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