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Titelaufnahme

    Titel
    Tandem-Photolithographie-Verfahren / Hermann Sachse
    VerfasserSachse, Hermann
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1995
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangVI, 139 S. : Ill., graph. Darst.
    Anmerkung
    Zsfassung in engl. u. dt. Sprache
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 214
    SchlagwörterFotolithografie <Halbleitertechnologie> / Photoresist / Mehrstufenprozess
    ISBN3-18-321409-1
    Links
    Nachweis
     hbz-Verbundkatalog
    Archiv METS (OAI-PMH)
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    Inhalt
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