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Suche nach: Schlagwort = LPCVD-Verfahren und Sammlung = ULB Düsseldorf

LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik
Bestimmung der elastischen Eigenschaften
Maier-Schneider, Dieter
Als Ms. gedr., Düsseldorf : VDI-Verl., 1995