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Titelaufnahme

    Titel
    LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik : Bestimmung der elastischen Eigenschaften / Dieter Maier-Schneider
    VerfasserMaier-Schneider, Dieter
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1995
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangXII, 116 S. : Ill., graph. Darst.
    HochschulschriftZugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss.
    Serie
    Fortschrittberichte VDI : Reihe 18, Mechanik, Bruchmechanik ; 183
    SchlagwörterLPCVD-Verfahren / Silicium / Polykristall / Elastizitätsmodul / LPCVD-Verfahren / Silicium / Polykristall / Eigenspannung
    ISBN3-18-318318-8
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