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Suche nach: Schlagwort = LIGA-Verfahren und Sammlung = ULB Düsseldorf

Röntgentiefenlithographische Mikrostrukturfertigung
Genauigkeit der Abbildung und Strukturierung durch Schrägbelichtung
Feiertag, Gregor
Als Ms. gedr., Düsseldorf : VDI-Verl., 1996
Untersuchungen zur Auslegung und Fertigung von Mikropumpen
Döpper, Joachim
Als Ms. gedr., Düsseldorf : VDI-Verl., 1997