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Titelaufnahme

    Titel
    Röntgentiefenlithographische Mikrostrukturfertigung : Genauigkeit der Abbildung und Strukturierung durch Schrägbelichtung / Gregor Feiertag
    VerfasserFeiertag, Gregor
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1996
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangVI, 107 S. : Ill., graph. Darst.
    HochschulschriftZugl.: Diss.
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 242
    SchlagwörterRöntgenlithografie / LIGA-Verfahren
    ISBN3-18-324209-5
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