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Titelaufnahme

Titel
Röntgentiefenlithographische Mikrostrukturfertigung : Genauigkeit der Abbildung und Strukturierung durch Schrägbelichtung / Gregor Feiertag
VerfasserFeiertag, Gregor In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen In Wikipedia suchen nach Gregor Feiertag
ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1996
Ausgabe
Als Ms. gedr.
UmfangVI, 107 S. : Ill., graph. Darst.
HochschulschriftZugl.: Diss.
SerieFortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 242
SchlagwörterRöntgenlithografie In Wikipedia suchen nach Röntgenlithografie / LIGA-Verfahren In Wikipedia suchen nach LIGA-Verfahren
ISBN3-18-324209-5
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