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Autor / Beteiligte = Vogt, Franz und Sammlung = ULB Düsseldorf
Entwicklung eines CMOS-kompatiblen Smart-Power-Prozesses zur Herstellung intelligenter Leistungshalbleiter auf SIMOX-Substraten
Vogt, Franz
Als Ms. gedr., Düsseldorf : VDI-Verl., 1996