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Titelaufnahme
Titel
Entwicklung eines CMOS-kompatiblen Smart-Power-Prozesses zur Herstellung intelligenter Leistungshalbleiter auf SIMOX-Substraten / Franz Vogt
Verfasser
Vogt, Franz
Erschienen
Düsseldorf : VDI-Verl.,
1996
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Umfang
X, 192 S. : Ill., graph. Darst.
Hochschulschrift
Zugl.: Duisburg, Univ., Diss., 1995
Serie
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 224
Schlagwörter
Smart-power-Bauelement
/
CMOS
/
SIMOX
/
Substrat <Mikroelektronik>
/
Leistungstransistor
ISBN
3-18-322409-7
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Entwicklung eines CMOS-kompatiblen Smart-Power-Prozesses zur Herstellung intelli [0,37 mb]
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