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Titelaufnahme

    Titel
    Entwicklung eines CMOS-kompatiblen Smart-Power-Prozesses zur Herstellung intelligenter Leistungshalbleiter auf SIMOX-Substraten / Franz Vogt
    VerfasserVogt, Franz
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1996
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangX, 192 S. : Ill., graph. Darst.
    HochschulschriftZugl.: Duisburg, Univ., Diss., 1995
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 224
    SchlagwörterSmart-power-Bauelement / CMOS / SIMOX / Substrat <Mikroelektronik> / Leistungstransistor
    ISBN3-18-322409-7
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     hbz-Verbundkatalog
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