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oai:ce.visuallibrary.net/ulbd:6982442016-09-04T15:00:31Zulbdcebook

vls/2603nrwcece.visuallibrary.netvdRöntgentiefenlithographische MikrostrukturfertigungGenauigkeit der Abbildung und Strukturierung durch SchrägbelichtungFeiertag, GregorauttextbookDüsseldorfVDI-Verl.1996Als Ms. gedr.monographicgerVI, 107 S. : Ill., graph. Darst.Gregor FeiertagZugl.: Diss.RöntgenlithografieLIGA-VerfahrenDiss.3-18-324209-5HT007385322Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik242HT0021565571011996 A 7836319970602701059301rak https://ce.visuallibrary.net//domainresource/static/graphics/connectors/viewerLogo.gif http://193.30.112.129:83/F/?func=find-c&ccl_term=ICS%3D701059301+X0001 https://ce.visuallibrary.net/id/698244 https://ce.visuallibrary.net/i3f/v20/698244/manifest https://ce.visuallibrary.net/proto_ftsearch/698244