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oai:ce.visuallibrary.net/ulbd:2340172015-02-28T16:00:18Zulbdcebook

vls/2603nrwcece.visuallibrary.netvdPlasmaätzverfahren für die Mikrostrukturierung von elektronischen Bauelementen aus YBa 2 Cu 3 O 7Bade, ThomasauttextbookDüsseldorfVDI-Verl.1994Als Ms. gedr.monographicgerX, 94 S. : Ill., graph. Darst.Thomas BadeSupraleitendes elektronisches BauelementPlasmaätzenIonenstrahlätzenMehrschichtsystemPhotoresist3-18-331502-5HT006265847Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 2, Fertigungstechnik 315HT0021621598200000000ZA2711B-3156100pfl/0650464D43YFB3837_d386/12GEB12EIT 517/10919950731700108401 https://ce.visuallibrary.net//domainresource/static/graphics/connectors/viewerLogo.gif http://193.30.112.129:83/F/?func=find-c&ccl_term=ICS%3D700108401+X0001 https://ce.visuallibrary.net/id/234017 https://ce.visuallibrary.net/i3f/v20/234017/manifest https://ce.visuallibrary.net/proto_ftsearch/234017