Notice détaillée
Titre
Beiträge zum Saphir-Wafer-Direktbonden / Pascal Kopperschmidt
AuteurKopperschmidt, Pascal
Adresse bibliogr.Düsseldorf : VDI-Verl.__placePublisherToDateSeparator 1998
Édition
Als Ms. gedr.
Collation
VI, 74 S. : Ill., graph. Darst.
SérieFortschritt-Berichte VDI : Reihe 5, Grund- und Werkstoffe ; 519
SujetSaphir / Galliumarsenid / Wafer / Mehrschichtsystem / Bonden / Saphir / Wafer / Bonden
ISBN3-18-351905-4
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