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Bibliographic Metadata
Title
Beiträge zum Saphir-Wafer-Direktbonden / Pascal Kopperschmidt
AuthorKopperschmidt, Pascal
PublishedDüsseldorf : VDI-Verl., 1998
Edition
Als Ms. gedr.
Description
VI, 74 S. : Ill., graph. Darst.
SeriesFortschritt-Berichte VDI : Reihe 5, Grund- und Werkstoffe ; 519
KeywordSaphir / Galliumarsenid / Wafer / Mehrschichtsystem / Bonden / Saphir / Wafer / Bonden
ISBN3-18-351905-4
Links
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Reference
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Archive METS (OAI-PMH)