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Titelaufnahme
Titel
Beiträge zum Saphir-Wafer-Direktbonden / Pascal Kopperschmidt
VerfasserKopperschmidt, Pascal
ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1998
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Umfang
VI, 74 S. : Ill., graph. Darst.
SerieFortschritt-Berichte VDI : Reihe 5, Grund- und Werkstoffe ; 519
SchlagwortSaphir / Galliumarsenid / Wafer / Mehrschichtsystem / Bonden / Saphir / Wafer / Bonden
ISBN3-18-351905-4
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