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Titelaufnahme
Titel
Entwicklung und Charakterisierung von CMOS-kompatiblen Mikrolampen mit Hilfe der Verfahren der Oberflächenmikromechanik / Stephan Hell
Verfasser
Hell, Stephan
Erschienen
Düsseldorf : VDI-Verl.,
1997
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Umfang
VIII, 130 S. : Ill., graph. Darst.
Hochschulschrift
Zugl.: Duisburg, Univ.-Gesamthochsch., Diss., 1997
Serie
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 266
Schlagwörter
Elektrische Lampe
/
Mikrosystemtechnik
/
Siliciumnitrid
/
Temperaturstrahlung
/
Glimmentladung
/
CMOS
ISBN
3-18-326609-1
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Entwicklung und Charakterisierung von CMOS-kompatiblen Mikrolampen mit Hilfe der [0,35 mb]
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