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Titelaufnahme

    Titel
    Entwicklung und Charakterisierung von CMOS-kompatiblen Mikrolampen mit Hilfe der Verfahren der Oberflächenmikromechanik / Stephan Hell
    VerfasserHell, Stephan
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1997
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangVIII, 130 S. : Ill., graph. Darst.
    HochschulschriftZugl.: Duisburg, Univ.-Gesamthochsch., Diss., 1997
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 266
    SchlagwörterElektrische Lampe / Mikrosystemtechnik / Siliciumnitrid / Temperaturstrahlung / Glimmentladung / CMOS
    ISBN3-18-326609-1
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