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Titelaufnahme

Titel
PECVD-Prozesse mittels Hohlkathodenglimmentladung / Anke Hellmich
VerfasserHellmich, Anke In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen In Wikipedia suchen nach Anke Hellmich
ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1997
Ausgabe
Als Ms. gedr.
UmfangVII, 111 S. : graph. Darst.
SerieFortschritt-Berichte VDI : Reihe 3, Verfahrenstechnik ; 507
SchlagwörterKohlenwasserstoffe In Wikipedia suchen nach Kohlenwasserstoffe / PECVD-Verfahren In Wikipedia suchen nach PECVD-Verfahren / Hohlkathodenentladung In Wikipedia suchen nach Hohlkathodenentladung / Dünne Schicht In Wikipedia suchen nach Dünne Schicht / Amorpher Zustand In Wikipedia suchen nach Amorpher Zustand / Tribologie In Wikipedia suchen nach Tribologie
ISBN3-18-350703-X
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