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Titelaufnahme
Titel
Wachstum von OEIC-Schichtstrukturen im System InP/InGaAsP mittels metallorganischer Gasphasenepitaxie (MOVPE) / Andreas Eisenbach
Verfasser
Eisenbach, Andreas
Erschienen
Düsseldorf : VDI-Verl.,
1997
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Umfang
XIII, 158 S. : Ill., graph. Darst.
Hochschulschrift
Zugl.: Darmstadt, Techn. Hochsch., Diss., 1996
Serie
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 264
Schlagwörter
Indiumarsenid
/
Galliumarsenid
/
Galliumphosphid
/
Indiumphosphid
/
Schichtwachstum
/
MOCVD-Verfahren
ISBN
3-18-326409-9
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Wachstum von OEIC-Schichtstrukturen im System InPInGaAsP mittels metallorganisch [0,42 mb]
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