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Titel
Eine vergleichende Untersuchung der physikalisch-chemischen Prozesse an der Grenzschicht direkt und anodisch verbundener Festkörper
/ Stefan Mack
Verfasser
Mack, Stefan
Erschienen
Düsseldorf
:
VDI-Verl.
,
1997
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Umfang
VI, 115 S. : Ill., graph. Darst.
Hochschulschrift
Zugl.: Halle-Wittenberg, Univ., Diss., 1997
Serie
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 2, Fertigungstechnik ; 436
Schlagwörter
Silicium
/
Wafer
/
Bonden
/
Silicium
/
Wafer
/
Glas
/
Bonden
ISBN
3-18-343602-7
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Nachweis
hbz-Verbundkatalog
Archiv
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Eine vergleichende Untersuchung der physikalisch-chemischen Prozesse an der Grenzschicht direkt und anodisch verbundener Festkörper
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