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Titelaufnahme

Titel
Randzonenanalyse bearbeiteter Silizium-Oberflächen / Carsten Menz
VerfasserMenz, Carsten In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen In Wikipedia suchen nach Carsten Menz
ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1997
Ausgabe
Als Ms. gedr.
UmfangX, 116 S. : Ill., graph. Darst.
HochschulschriftZugl.: Hannover, Univ., Diss.
SerieFortschritt-Berichte VDI : Reihe 2, Fertigungstechnik ; 431
SerieBerichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Spanende Werkzeugmaschinen, Universität Hannover - IFW-Produktionstechnik
SchlagwörterWafer In Wikipedia suchen nach Wafer / Silicium In Wikipedia suchen nach Silicium / Oberflächenschaden In Wikipedia suchen nach Oberflächenschaden / Randschicht In Wikipedia suchen nach Randschicht
ISBN3-18-343102-5
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