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Titelaufnahme

    Titel
    Streulicht- und Rastermikroskop-Untersuchungen an optischen Siliciumoberflächen / Ralf Kumpe
    VerfasserKumpe, Ralf
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1997
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangIX, 109 S. : Ill., graph. Darst.
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 259
    SchlagwörterSilicium / Halbleiteroberfläche / Optische Fläche / Rauigkeit / Lichtstreuung / Rastertunnelmikroskopie
    ISBN3-18-325909-5
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