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Titelaufnahme

Titel
Streulicht- und Rastermikroskop-Untersuchungen an optischen Siliciumoberflächen / Ralf Kumpe
VerfasserKumpe, Ralf In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen In Wikipedia suchen nach Ralf Kumpe
ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1997
Ausgabe
Als Ms. gedr.
UmfangIX, 109 S. : Ill., graph. Darst.
SerieFortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 259
SchlagwörterSilicium In Wikipedia suchen nach Silicium / Halbleiteroberfläche In Wikipedia suchen nach Halbleiteroberfläche / Optische Fläche In Wikipedia suchen nach Optische Fläche / Rauigkeit In Wikipedia suchen nach Rauigkeit / Lichtstreuung In Wikipedia suchen nach Lichtstreuung / Rastertunnelmikroskopie In Wikipedia suchen nach Rastertunnelmikroskopie
ISBN3-18-325909-5
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