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Titelaufnahme
Titel
Versetzungen und Verspannungen bei stark fehlangepaßter Heteroepitaxie / Shaobai Mo
Verfasser
Mo, Shaobai
Erschienen
Düsseldorf : VDI-Verl.,
1997
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Umfang
VI, 115 S. : graph. Darst.
Hochschulschrift
Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss.
Serie
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 256
Schlagwörter
Silicium
/
Substrat <Mikroelektronik>
/
Drei-Fünf-Halbleiter
/
Heteroepitaxie
/
Versetzung <Kristallographie>
/
Mechanische Spannung
ISBN
3-18-325609-6
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Versetzungen und Verspannungen bei stark fehlangepaßter Heteroepitaxie [0,38 mb]
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