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Titelaufnahme

    Titel
    Versetzungen und Verspannungen bei stark fehlangepaßter Heteroepitaxie / Shaobai Mo
    VerfasserMo, Shaobai
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1997
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangVI, 115 S. : graph. Darst.
    HochschulschriftZugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss.
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 256
    SchlagwörterSilicium / Substrat <Mikroelektronik> / Drei-Fünf-Halbleiter / Heteroepitaxie / Versetzung <Kristallographie> / Mechanische Spannung
    ISBN3-18-325609-6
    Links
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     hbz-Verbundkatalog
    Archiv METS (OAI-PMH)
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