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Titelaufnahme

Titel
Stabstirn-Trennschleifen von einkristallinem Silizium / Matthias Hartmann
VerfasserHartmann, Matthias In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen In Wikipedia suchen nach Matthias Hartmann
ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1997
Ausgabe
Als Ms. gedr.
UmfangXIII, 144 S. : Ill., graph. Darst.
SerieFortschritt-Berichte VDI : Reihe 2, Fertigungstechnik ; 422
SerieBerichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Spanende Werkzeugmaschinen, Universität Hannover - IFW-Produktionstechnik
SchlagwörterSilicium In Wikipedia suchen nach Silicium / Einkristall In Wikipedia suchen nach Einkristall / Wafer In Wikipedia suchen nach Wafer / Trennschleifen In Wikipedia suchen nach Trennschleifen / Prozessüberwachung In Wikipedia suchen nach Prozessüberwachung
ISBN3-18-342202-6
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