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Titelaufnahme

    Titel
    Herstellung und Charakterisierung von Carbonitridschichten / Josef Hartmann
    VerfasserHartmann, Josef
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1997
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangVII, 101 S. : Ill., graph. Darst.
    HochschulschriftZugl.: Augsburg, Univ., Diss., 1997
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 5, Grund- und Werkstoffe ; 478
    SchlagwörterCarbonitride / Dünne Schicht / PECVD-Verfahren / Carbonitride / Dünne Schicht / Ionenimplantation / Carbonitride / Dünne Schicht / PVD-Verfahren / Hochstrombogen
    ISBN3-18-347805-6
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