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Titelaufnahme

    Titel
    Kurzzeitprozesse für Leistungshalbleiter / Detlef Nagel
    VerfasserNagel, Detlef
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1997
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangXII, 129 S. : Ill., graph. Darst.
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 252
    SchlagwörterLeistungshalbleiter / Siliciumhalbleiter / Phosphor / Aluminium / Dotierung / Kurzzeitverfahren
    ISBN3-18-325209-0
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