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Titelaufnahme

    Titel
    Plasmaabgeschiedene integriert optische Wellenleiter auf Silizium für die faseroptische Kommunikationstechnik / Martin Hoffmann
    VerfasserHoffmann, Martin
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1997
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangIX, 151 S. : Ill., graph. Darst.
    HochschulschriftZugl.:Dortmund, Univ., Diss., 1996
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 10, Informatik, Kommunikationstechnik ; 469
    SchlagwörterSiliciumoxinitride / Lichtwellenleiter / PECVD-Verfahren / CMOS / Integriert-optisches Bauelement / Schaltungsentwurf
    ISBN3-18-346910-3
    Links
    Nachweis
     hbz-Verbundkatalog
    Archiv METS (OAI-PMH)
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    Inhalt
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