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Titelaufnahme

    Titel
    Spektroskopische Ellipsometrie an III/V-Halbleiterstrukturen / Hartmut Iber
    VerfasserIber, Hartmut
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1996
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangX, 120 S. : Ill., graph. Darst.
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik ; 601
    SchlagwörterSilicium / Halbleitersubstrat / Indiumphosphid / Dünne Schicht / Gitterbaufehler / Ellipsometrie / Silicium / Halbleitersubstrat / Galliumarsenid / Dünne Schicht / Gitterbaufehler / Ellipsometrie
    ISBN3-18-360108-7
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