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Titelaufnahme

    Titel
    Koppelstrukturen für integrierte optische Schaltungen auf Silizium / Dieter Zurhelle
    VerfasserZurhelle, Dieter
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1996
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangXIII, 186 S. : Ill., graph. Darst.
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 236
    SchlagwörterSiliciumdioxid / Siliciumnitrid / Mischkristall / Lichtwellenleiter / Integriert-optisches Bauelement
    ISBN3-18-323609-5
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    Nachweis
     hbz-Verbundkatalog
    Archiv METS (OAI-PMH)
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    Inhalt
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