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Titelaufnahme
Titel
Koppelstrukturen für integrierte optische Schaltungen auf Silizium / Dieter Zurhelle
Verfasser
Zurhelle, Dieter
Erschienen
Düsseldorf : VDI-Verl.,
1996
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Umfang
XIII, 186 S. : Ill., graph. Darst.
Serie
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 236
Schlagwörter
Siliciumdioxid
/
Siliciumnitrid
/
Mischkristall
/
Lichtwellenleiter
/
Integriert-optisches Bauelement
ISBN
3-18-323609-5
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Koppelstrukturen für integrierte optische Schaltungen auf Silizium [0,49 mb]
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