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Titelaufnahme
Titel
Untersuchungen zu Filmbildung und Filmwachstum von Prepolymeren auf anorganischen Substraten / Thomas Gesang
Verfasser
Gesang, Thomas
Erschienen
Düsseldorf : VDI-Verl.,
1996
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Umfang
VI, 144 S. : Ill., graph. Darst.
Hochschulschrift
Zugl.: Dortmund, Univ., Diss., 1995
Serie
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 3, Verfahrenstechnik ; 438
Schlagwörter
Silicium
/
Kristallfläche
/
Wafer
/
Polymerfilm
/
Filmbildung
/
Rastersondenmikroskopie
/
Aluminium
/
Aufdampfschicht
/
Polymerfilm
/
Filmbildung
/
Rastersondenmikroskopie
ISBN
3-18-343803-8
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Untersuchungen zu Filmbildung und Filmwachstum von Prepolymeren auf anorganische [0,58 mb]
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