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Titelaufnahme
Titel
Untersuchungen zum Einfluß netzwerkmodifizierender Elemente auf die freie Oberflächenenergie amorpher Kohlenwasserstoff-Schichten / Klaus Trojan
Verfasser
Trojan, Klaus
Erschienen
Düsseldorf : VDI-Verl.,
1996
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Umfang
VI, 132 S. : graph. Darst.
Hochschulschrift
Zugl.: Diss.
Serie
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 5, Grund- und Werkstoffe ; 431
Schlagwörter
Kohlenwasserstoffe
/
Dünne Schicht
/
Amorpher Zustand
/
Oberflächenspannung
/
PECVD-Verfahren
/
Prozessführung <Technik>
/
Kohlenwasserstoffe
/
Dünne Schicht
/
Amorpher Zustand
/
Dotierung
/
Oberflächenspannung
ISBN
3-18-343105-X
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Untersuchungen zum Einfluß netzwerkmodifizierender Elemente auf die freie Oberfl [0,40 mb]
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