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Titel
Anlagenentwicklung unter unsicheren Annahmen am Beispiel einer lasergestützten Präzisionsbearbeitungsstation / Peter B. Heekenjann
Verfasser
Heekenjann, Peter B.
Erschienen
Düsseldorf : VDI-Verl.,
1996
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Umfang
IX, 123 S. : Ill., graph. Darst.
Serie
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 2, Fertigungstechnik ; 370
Serie
IFW-Produktionstechnik
Schlagwörter
Feinbearbeitung
/
Laserlithografie
/
Maskentechnik
ISBN
3-18-337002-6
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Anlagenentwicklung unter unsicheren Annahmen am Beispiel einer lasergestützten P [0,22 mb]
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