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Titelaufnahme

    Titel
    Textur- und Spannungsanalyse an dünnen epitaktischen Diamantschichten auf Silizium / Stephan Geier
    VerfasserGeier, Stephan
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1996
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangVII, 139 S. : Ill., graph. Darst.
    Serie
    Fortschritt-Bericht VDI : Reihe 9, Elektronik ; 223
    SchlagwörterSilicium / Substrat <Mikroelektronik> / Diamant / Dünne Schicht / CVD-Verfahren / Texturanalyse
    ISBN3-18-322309-0
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