Zur Seitenansicht

Titelaufnahme

    Titel
    Entwicklung eines allgemeinen dreidimensionalen physikalischen Modells zur Simulation von Abscheideprofilen in Kathodenzerstäubungsanlagen / Joachim Stache
    VerfasserStache, Joachim
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1996
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangIX, 116 S. : graph. Darst.
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 21, Elektrotechnik ; 197
    SchlagwörterAluminium / Magnetronsputtern / Diffusionsgleichung / Monte-Carlo-Simulation / Wolfram / Magnetronsputtern / Diffusionsgleichung / Monte-Carlo-Simulation
    ISBN3-18-319721-9
    Links
    Nachweis
     hbz-Verbundkatalog
    Archiv METS (OAI-PMH)
    Download
    Inhalt
    Inhalt des Werkes