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Titelaufnahme
Titel
Elektrische Charakterisierung mikroelektronischer Bauelemente mittels der Rasterkraftmikroskopie / Christoph Böhm
Verfasser
Boehm, Christoph
Erschienen
Düsseldorf : VDI-Verl.,
1995
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Umfang
X, 124 S. : Ill., graph. Darst.
Hochschulschrift
Zugl.: Duisburg, Univ., Diss., 1995
Serie
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik ; 524
Schlagwörter
Analoge integrierte Schaltung
/
VLSI
/
Elektrische Eigenschaft
/
Testbarkeit
/
Rasterkraftmikroskopie
/
Fehlererkennung
/
Digitale integrierte Schaltung
/
VLSI
/
Elektrische Eigenschaft
/
Testbarkeit
/
Rasterkraftmikroskopie
/
Fehlererkennung
ISBN
3-18-352408-2
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Elektrische Charakterisierung mikroelektronischer Bauelemente mittels der Raster [0,38 mb]
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