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Titelaufnahme

    Titel
    Entwicklung und Untersuchung eines mikromechanischen Beschleunigungssensors mit einer Differential-Tunnelstrecke / Andreas Schroth
    VerfasserSchoth, Andreas
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1995
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangXV, 129 S. : Ill., graph. Darst.
    HochschulschriftZugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1995
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik ; 520
    SchlagwörterBeschleunigungssensor / Tunnelkontakt
    ISBN3-18-352008-7
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    Archiv METS (OAI-PMH)
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