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Titelaufnahme

Titel
Verfahren des automatisierten Mikroabtrags mit Excimerlasern / Jens Mommsen
VerfasserMommsen, Jens
ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1995
Ausgabe
Als Ms. gedr.
UmfangIX, 109 S. : Ill., graph. Darst.
Serie
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 2, Fertigungstechnik ; 353
Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Spanende Werkzeugmaschinen Universität Hannover
SchlagwörterLaserablation / Mikrostruktur / Automation / Excimerlaser
ISBN3-18-335302-4
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Nachweis
Archiv METS (OAI-PMH)
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