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Titel
Verfahren des automatisierten Mikroabtrags mit Excimerlasern
/ Jens Mommsen
Verfasser
Mommsen, Jens
Erschienen
Düsseldorf
:
VDI-Verl.
,
1995
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Umfang
IX, 109 S. : Ill., graph. Darst.
Serie
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 2, Fertigungstechnik ; 353
Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Spanende Werkzeugmaschinen Universität Hannover
Schlagwörter
Laserablation
/
Mikrostruktur
/
Automation
/
Excimerlaser
ISBN
3-18-335302-4
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Verfahren des automatisierten Mikroabtrags mit Excimerlasern
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