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Titel
Bau linearisierter kapazitiver Drucksensoren mit Auswerteschaltungen in Schalter-Kondensator-Technik
/ Hubert Benzel
Verfasser
Benzel, Hubert
Erschienen
Düsseldorf
:
VDI-Verl.
,
1995
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Umfang
IX, 124 S. : Ill., graph. Darst.
Hochschulschrift
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1994
Serie
Fortschrittberichte VDI : Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik ; 460
Schlagwörter
Drucksensor
/
Kapazitiver Sensor
/
Technische Membran
/
Messwertverarbeitung
/
Drucksensor
/
Kapazitiver Sensor
/
Technische Membran
/
Dickschichttechnik
ISBN
3-18-346008-4
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hbz-Verbundkatalog
Archiv
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