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Titelaufnahme

Titel
Drucksensoren für die Systemintegration in Silizium / Stefan Adams
VerfasserAdams, Stefan In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen In Wikipedia suchen nach Stefan Adams
ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1995
Ausgabe
Als Ms. gedr.
UmfangVIII, 109 S. : Ill., graph. Darst.
SerieFortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 201
SchlagwörterCMOS In Wikipedia suchen nach CMOS / Silicium In Wikipedia suchen nach Silicium / Halbleitersubstrat In Wikipedia suchen nach Halbleitersubstrat / Drucksensor In Wikipedia suchen nach Drucksensor / Integration <Mikroelektronik> In Wikipedia suchen nach Integration Mikroelektronik
ISBN3-18-320109-7
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