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Titelaufnahme

    Titel
    Plasmadiagnostische und oberflächenanalytische Untersuchungen zum Mechanismus der Abscheidung reaktiv gesputterter TiN x-Schichten / Roman Roth
    VerfasserRoth, Roman
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1996
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangIX, 103 S. : graph. Darst.
    HochschulschriftZugl.: Stuttgart, Univ., Diss.
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 5, Grund- und Werkstoffe ; 423
    SchlagwörterTitannitrid / Magnetronsputtern / Plasmadiagnostik / Titannitrid / Magnetronsputtern / Dünne Schicht / Oberflächenanalyse
    ISBN3-18-342305-7
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