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Titelaufnahme

Titel
Laser-Reflexionsmessungen zur Optimierung technologischer Prozesse bei der Herstellung integrierter Supraleiterschaltungen / Ralf Dolata
VerfasserDolata, Ralf In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen In Wikipedia suchen nach Ralf Dolata
ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1994
Ausgabe
Als Ms. gedr.
UmfangVII, 192 S. : Ill., graph. Darst.
SerieFortschritt-Berichte VDI : Reihe 8 ; 439
SchlagwörterIntegrierte Schaltung In Wikipedia suchen nach Integrierte Schaltung / Supraleiter In Wikipedia suchen nach Supraleiter / Josephson-Kontakt In Wikipedia suchen nach Josephson-Kontakt / Dünnschichttechnik In Wikipedia suchen nach Dünnschichttechnik / Reflektometrie In Wikipedia suchen nach Reflektometrie / Prozessüberwachung In Wikipedia suchen nach Prozessüberwachung
ISBN3-18-343908-5
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