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Titelaufnahme

    Titel
    Laser-Reflexionsmessungen zur Optimierung technologischer Prozesse bei der Herstellung integrierter Supraleiterschaltungen / Ralf Dolata
    VerfasserDolata, Ralf
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1994
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangVII, 192 S. : Ill., graph. Darst.
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 8 ; 439
    SchlagwörterIntegrierte Schaltung / Supraleiter / Josephson-Kontakt / Dünnschichttechnik / Reflektometrie / Prozessüberwachung
    ISBN3-18-343908-5
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    Nachweis
     hbz-Verbundkatalog
    Archiv METS (OAI-PMH)
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