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Titelaufnahme
Titel
MOVPE-Schichten aus III-V-Halbleitern auf (001)-Si-Substraten / Guang-Ping Tang
Verfasser
Tang, Guang-Ping
Erschienen
Düsseldorf : VDI-Verl.,
1994
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Umfang
VI, 101 S. : Ill., graph. Darst.
Serie
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 5 ; 360
Schlagwörter
Silicium
/
Halbleitersubstrat
/
Indiumphosphid
/
Dünne Schicht
/
MOCVD-Verfahren
/
Silicium
/
Halbleitersubstrat
/
Galliumarsenid
/
Dünne Schicht
/
MOCVD-Verfahren
ISBN
3-18-336005-5
Links
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MOVPE-Schichten aus III-V-Halbleitern auf 001-Si-Substraten [0,29 mb]
Nachweis
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