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Titelaufnahme

    Titel
    MOVPE-Schichten aus III-V-Halbleitern auf (001)-Si-Substraten / Guang-Ping Tang
    VerfasserTang, Guang-Ping
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1994
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangVI, 101 S. : Ill., graph. Darst.
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 5 ; 360
    SchlagwörterSilicium / Halbleitersubstrat / Indiumphosphid / Dünne Schicht / MOCVD-Verfahren / Silicium / Halbleitersubstrat / Galliumarsenid / Dünne Schicht / MOCVD-Verfahren
    ISBN3-18-336005-5
    Links
    Nachweis
     hbz-Verbundkatalog
    Archiv METS (OAI-PMH)
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