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Titelaufnahme

    Titel
    Der Einfluß thermischer Spannungen auf die Defektstruktur in heteroepitaktischen Halbleiterfilmen / Bernd Roos
    VerfasserRoos, Bernd
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1994
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    Umfang127 S. : Ill., graph. Darst.
    HochschulschriftZugl.: Stuttgart, Univ., Diss.
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 5 ; 358
    SchlagwörterHalbleiterschicht / Heteroepitaxie / Silicium / Substrat <Mikroelektronik> / Grenzfläche / Mechanische Spannung
    ISBN3-18-335805-0
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    Archiv METS (OAI-PMH)
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