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Titelaufnahme

Titel
Plasmaätzverfahren für die Mikrostrukturierung von elektronischen Bauelementen aus YBa 2 Cu 3 O 7 / Thomas Bade
VerfasserBade, Thomas In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen In Wikipedia suchen nach Thomas Bade
ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1994
Ausgabe
Als Ms. gedr.
UmfangX, 94 S. : Ill., graph. Darst.
SerieFortschritt-Berichte VDI : Reihe 2, Fertigungstechnik ; 315
SchlagwörterSupraleitendes elektronisches Bauelement In Wikipedia suchen nach Supraleitendes elektronisches Bauelement / Plasmaätzen In Wikipedia suchen nach Plasmaätzen / Ionenstrahlätzen In Wikipedia suchen nach Ionenstrahlätzen / Mehrschichtsystem In Wikipedia suchen nach Mehrschichtsystem / Photoresist In Wikipedia suchen nach Photoresist
ISBN3-18-331502-5
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