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Titelaufnahme

    Titel
    Plasmaätzverfahren für die Mikrostrukturierung von elektronischen Bauelementen aus YBa 2 Cu 3 O 7 / Thomas Bade
    VerfasserBade, Thomas
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1994
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangX, 94 S. : Ill., graph. Darst.
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 2, Fertigungstechnik ; 315
    SchlagwörterSupraleitendes elektronisches Bauelement / Plasmaätzen / Ionenstrahlätzen / Mehrschichtsystem / Photoresist
    ISBN3-18-331502-5
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