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Titelaufnahme
Titel
Plasmagestütztes CVD mit metallorganischen und analogen Verbindungen / Andreas Gebauer
Verfasser
Gebauer, Andreas
Erschienen
Düsseldorf : VDI-Verl.,
1994
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Umfang
X, 167 S. : Ill., graph. Darst.
Serie
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 5 ; 344
Schlagwörter
Titanorganische Verbindungen
/
PECVD-Verfahren
/
Hartstoff
/
Beschichtung
/
Zirkoniumorganische Verbindungen
/
PECVD-Verfahren
/
Hartstoff
/
Beschichtung
/
Aluminiumorganische Verbindungen
/
PECVD-Verfahren
/
Hartstoff
/
Beschichtung
ISBN
3-18-334405-X
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Plasmagestütztes CVD mit metallorganischen und analogen Verbindungen [0,76 mb]
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