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Titelaufnahme

Titel
Plasmagestütztes CVD mit metallorganischen und analogen Verbindungen / Andreas Gebauer
VerfasserGebauer, Andreas In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen In Wikipedia suchen nach Andreas Gebauer
ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1994
Ausgabe
Als Ms. gedr.
UmfangX, 167 S. : Ill., graph. Darst.
SerieFortschritt-Berichte VDI : Reihe 5 ; 344
SchlagwörterTitanorganische Verbindungen In Wikipedia suchen nach Titanorganische Verbindungen / PECVD-Verfahren In Wikipedia suchen nach PECVD-Verfahren / Hartstoff In Wikipedia suchen nach Hartstoff / Beschichtung In Wikipedia suchen nach Beschichtung / Zirkoniumorganische Verbindungen In Wikipedia suchen nach Zirkoniumorganische Verbindungen / PECVD-Verfahren In Wikipedia suchen nach PECVD-Verfahren / Hartstoff In Wikipedia suchen nach Hartstoff / Beschichtung In Wikipedia suchen nach Beschichtung / Aluminiumorganische Verbindungen In Wikipedia suchen nach Aluminiumorganische Verbindungen / PECVD-Verfahren In Wikipedia suchen nach PECVD-Verfahren / Hartstoff In Wikipedia suchen nach Hartstoff / Beschichtung In Wikipedia suchen nach Beschichtung
ISBN3-18-334405-X
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