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Titelaufnahme
Titel
Verfahren und Einrichtungen zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften mikromechanischer Werkstoffe / Junming Zhang
Verfasser
Zhang, Junming
Erschienen
Düsseldorf : VDI-Verl.,
1994
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Umfang
XI, 172 S. : Ill., graph. Darst.
Hochschulschrift
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss.
Serie
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 5 ; 338
Schlagwörter
Mikromechanik
/
Silicium
/
Schichtwerkstoff
/
Mechanische Eigenschaft
/
Mikromechanik
/
Silicium
/
Wafer
/
Bruchfestigkeit
ISBN
3-18-143805-7
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Verfahren und Einrichtungen zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften mikromecha [0,55 mb]
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