Notizia bibliografica
Titolo
Verfahren und Einrichtungen zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften mikromechanischer Werkstoffe / Junming Zhang
AutoreZhang, Junming
ImpressumDüsseldorf : VDI-Verl.__placePublisherToDateSeparator 1994
Edizione
Als Ms. gedr.
Descrizione fisica
XI, 172 S. : Ill., graph. Darst.
__mods_noteThesisStatementZugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss.
SerieFortschritt-Berichte VDI : Reihe 5 ; 338
SoggettoMikromechanik / Silicium / Schichtwerkstoff / Mechanische Eigenschaft / Mikromechanik / Silicium / Wafer / Bruchfestigkeit
ISBN3-18-143805-7
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